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洛陽華衍電子材料有限公司

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洛陽華衍電子材料有限公司
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四氟化碳

產品介紹

產品主要作用:用于等離子干刻工序;在很低溫度下作為低溫流體用;也用于中性及惰性氣體

產品中文名:四氟化碳

產品英文名:Tetrafluoromethane

化學式:CF4

CAS號:75-73-0

UN 號:1982

純度:99.999%

閥門型號:CGA580/DISS716


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