產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：二氯二氫硅

產(chǎn)品英文名：Dichlorosilane

化學(xué)式：SiH2Cl2

CAS號：4109-96-0

UN 號：2189

純度：  99.99%和99.999%

閥門型號：CGA678